百级FFU净化单元

FFU送风方式为净化空调系统中的运用

1、伴随着生产工艺流程的不断进步，微电子工业生产对周围环境以及配套设施的需求越来越严，其产品的产出率和稳定性*取决于原材料的纯度和生产制造环境中的洁净度等级，对洁净技术要求也越来越高。净化室(区)就是指气体悬浮粒子浓度值、含菌浓度值可控房间(限制的室内空间)。

传统净化空调系统通常采用集中化送风方法，即空气处理设备(电加热器、冷却塔、空气加湿器。粗、初效过滤器等)和离心风机均集中化安装在洁净空调机房内，高效送风口设置在系统软件的末端，并且以密集的送、回风口把空气处理设备和净化室相互连接。这种方法主要缺点取决于适应能力较弱，假如卧室的洁净度等级要调整，是不太可能的。近些年，净化空调系统发生了一种新的送风方法：风机过滤单元(FanFilterUnit通称FFU)送风方法。此方式气体由FFU送至净化室，从送风静压箱经两边夹道回至送风静压箱，在送风夹道设干试翅片换热器解决清洁房间内负载。新风系统回收器可集中化建在洁净空调机房内，处理之后新风系统立即送进送风静压箱。这类送风方法融入能力很强，在某个半导体设备新项目净化空调系统使用了FFU送风方法，本文结合该工程实例与传统集中化送风形式进行较为。

净化车间的优点

1、拼装的结构设计，安装简单，*地缩短施工工期，可单用，还可以搭配使用及二次拆卸运用。

2、底端可设置挪动橡胶轮，*准定位、挪动方便快捷，适用修建局域网或地方性的清洁室内空间。

3、顶端模块化设计构造，可以调整FFU送风发电机组数量和规格，采用超高效过滤器提升净化车间内部洁净度等级，提升洁净*，可扩展性强，且可重复利用价格高。

4、相较于净化工作台，内部结构可以用合理空间很大，相对传统净化室，成本费用低、施工快、简约便捷。